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2 液晶显示器的制造工艺流程
彩色TFT-LCD制造工艺流程主要包含4个子流程：TFT加工工艺（TFT process）、彩色滤光器加工工艺（Color filter process）、
单元装配工艺（Cell process）和模块装配工艺（Module process）[1][2]。各工艺子流程之间的关系。
 
 彩色TFT-LCD加工工艺流程
2.1TFT加工工艺（TFT process）
TFT加工工艺的作用是在下玻璃基板上形成TFT和电极阵列。针对TFT和电极层状结构，通常采用五掩膜工艺，即利用5块掩膜，通过5道相同的图形转移工艺，完成如图

1.3TFT层状结构的加工[2]，各道图形转移工艺的加工结果。
                
(a)第1道图形转移工艺        (b) 第2道图形转移工艺     (c) 第3道图形转移工艺
        
(d) 第4道图形转移工艺     (e) 第5道图形转移工艺
各道图形转移工艺的加工结果
图形转移积工艺由淀积、光刻、刻蚀、清洗、检测等工序构成，其具体流程如下[1]：
开始?玻璃基板检验?薄膜淀积?清洗?覆光刻胶?
曝光?显影?刻蚀?去除光刻胶?检验?结束
其中刻蚀方法有干刻蚀法和湿刻蚀法两种。上述各种工序的加工原理与集成电路制造工艺中使用的相应工序的加工方法原理类似，但是，由于液晶显示器中的玻璃基板面积较大，

TFT加工工艺中采用的加工方法的工艺参数和设备参数有其特殊性。